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令和3年度重要技術管理体制強化事業(我が国における極微細加工を用いたエッジ半導体製造に係るサプライチェーン体制構築可能性調査)に係る委託先の公募について

2021年11月19日
製造産業局
産業機械課

公募概要

1988年には約50%を占めていた我が国半導体のシェアは、現在、10%にまで低下、大手デバイスメーカやファウンドリはその上位を海外メーカが占める状態となっています。半導体は携帯電話やPC、データセンター、電子機器のみならず、我が国の産業、研究・教育、医療等様々な分野で使用されている極めて重要な部素材であり、昨今のコロナ感染症による巣ごもりやテレワーク、5G、DXの推進など、今後も半導体需要は増加していく中で、急激な需要の増加に供給が追いついておらず、グローバルにおける半導体不足から、自動車を始めとする様々な産業で減産を余儀なくされています。また、昨今の米中における半導体を取りまく技術覇権争いを皮切りに、半導体に関する経済安全保障上の重要性は増しており、各国が経済安全保障上の観点から、重要な生産基盤を囲い込む新次元の産業政策を展開している。そんな中、各国の主要半導体メーカやファウンドリにおいても、ムーアに基づく半導体のシングルナノオーダによる超微細加工に対し、未曾有の大規模な投資を展開しています。

EUV露光が中長期にわたる半導体の超微細加工の中心かつ重要な技術であり、さらに周辺の装置や材料等の産業への広がりが広大である中、EUV露光を取りまく技術の動向や我が国が保有する要素技術と今後の技術戦略、さらにはEUV露光に係る検査等工程についてのマーケティングの方向性等について検討することは、我が国が半導体産業におけるサプライチェーンの強靱化を図っていく上で必要不可欠です。

本事業では、我が国の安全保障・産業競争力の維持・強化、半導体産業におけるサプライチェーンの強靱化を図ることを目的に、EUV露光装置周辺において我が国が保有する要素技術の把握と今後の技術戦略、EUV露光装置や検査機器等におけるマーケティングの方向性、EUV露光技術開発における国内体制構築可能性等の調査委託先を募集します。

事業内容

以下①~③を研究テーマとします。

①EUV露光装置に関する調査
②ナノインプリントポテンシャル調査
③EUVマスク検査装置の調査

対象者

公募要領に定める要件を満たす企業・団体等

公募期間

令和3年11月19日(金曜日)~12月8日(水曜日)

提出先、お問合せ先

経済産業省 製造産業局 産業機械課
担当:池田、永井
E-MAIL:ikeda-hidetoshi@meti.go.jp:nagai-takehiro@meti.go.jpメールリンク
電話:03-3501-1691
※E-MAILにてご提出願います。

関係資料等は以下からダウンロードしてください。

最終更新日:2021年11月19日